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压电纳米位移台

  • 发布日期:2020-08-19      浏览次数:100
    • 压电纳米位移台 

      应用领域

      • 扫描显微镜
      • 掩模/晶圆定位
      • 干涉测量
      • 测量技术
      • 生物技术
      • 扫描和筛选

      带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

      电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

      压电纳米位移台

      自动配置和快速部件更换

      机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

      适用于复杂真空应用

      压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

       PIMars纳米定位平台

      PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

      PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。  

       

      零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

      柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对震动和冲击不敏感不敏感。它们真空兼容,可在很广的温度范围内工作。  

       

      并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

      各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

          

      德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能,定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上,并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而,PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品: 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台,提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

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