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高精度纳米位移定位台

产品时间:2020-07-17

简要描述:

高精度纳米位移定位台
§ 速度达20毫米/秒
§ 超长使用寿命
§ 可提供真空兼容版本

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高精度纳米位移定位台

 德国PI六足精密纳米位移台

    德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能,定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上,并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而,PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品: 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台,提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

 

参考级六轴定位系统:高精度纳米位移定位台

六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小真空兼容型可达10-6百帕

 

无刷直流电机(BLDC)

无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触,可无磨损地平稳运行, 因此能够实现较长的使用寿命。

 

应用领域

科研和工业,标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。

 

规格

动和定位

H-811.I2 / .I2V**

单位

公差

动轴

XYZθXθYθZ

  

XY向上的行程*

±17, ±16

毫米

 

Z向上的行程*

±6.5

毫米

 

θXθY向上的行程*

±10, ±10

°

 

θZ向上的行程*

±21

°

 

动器设计分辨率

5

纳米

 

XY向上的最小位移

0.2

微米

典型

Z向上的最小位移

0.08

微米

典型

θXθY向上的最小位移

2.5

微弧度

典型

θZ向上的最小位移

5

微弧度

典型

XY向上的空回

0.2

微米

典型

Z向上的空回

0.06

微米

典型

θXθY向上的空回

2

微弧度

典型

θZ向上的空回

4

微弧度

典型

XY向上的重复精度

±0.15

微米

典型

Z向上的重复精度

±0.06

微米

典型

θXθY向上的重复精度

±2

微弧度

典型

θZ向上的重复精度

±3

微弧度

典型

XYZ向上的最大速度

20 / 10

毫米/

 

θXθYθZ向上的最大速度

500 / 250

毫弧度/

 

Typ. XYZ向上的典型速度

10 / 5

毫米/

 

Typ. θXθYθZ向上的速度

240 / 120

毫弧度/

 

 

 

机械特性

H-811.I2 / .I2V**

单位

公差

XY向上的刚性

0.7

/微米

 

Z向上的刚性

8

/微米

 

负载能力(底板为水平方向)

5

千克

最大

负载能力(底板为任意方向)

2.5

千克

最大

保持力(断电、底板为水平方向)

15

最大

保持力(断电、底板为任意方向)

2.5

最大

电机类型

BLDC电机

  

 

 

其他

H-811.I2 / .I2V**

单位

公差

工作温度范

到 50

°C

 

材料

锈钢,铝

  

质量

2.2

千克

±5 %

电缆长度

0.5+3/3(空气)+2(真空)

±10 毫米

推荐控制器

C-887.5x

  

 

术参数为 20±3°C下的数值。

单个坐标(XYZθXθYθZ)的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

**对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制。询问定制版本。

 

图纸/图片

图片2.png

 

     H-811.I2, 尺寸单位为毫米

 

 

订购信息

H-811.I2

小型六足位移台微型机器人,无刷直流电机,5千克负载容量,20毫米/秒速度,0.5电缆长度,含3米成套电缆

H-811.I2V

小型六足位移台微型机器人,无刷直流电机,真空兼容至10-

百帕,公斤负载容量,10毫米/秒速度,2电缆长度,含3米成套电缆和引线

 

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