产品时间:2022-07-06
A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台高性能纳米级定位平台扫描应用的选择或精密定位无尘室兼容运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米行程50 毫米至750 毫米分辨率达1纳米
带空气轴承的PIglideAT3线性平台
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供让人满意的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。
带空气轴承的PIglideAT3线性平台
德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能,定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上,并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越竞争的技术范围和垂直生产范围。然而,PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品: 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台,提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91