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带空气轴承的PIglideAT3线性平台

产品时间:2020-08-18

简要描述:

A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
高性能纳米级定位平台

扫描应用的完美选择或精密定位
无尘室兼容
运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
行程50 毫米至750 毫米
分辨率达1纳米

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 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供让人满意的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

附件和可选配件

  • 编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 单轴和多轴运动控制器
  • XY装置和个性化配置
  • 电缆轨道变型
  • 用于垂直(Z)方向的配重选项
  • 可提供定制版
  • 花岗岩底座板和隔振系统
  •  

   德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能,定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上,并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而,PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品: 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台,提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91 

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